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Latest update: 31/08/2021 15:10:58
法人番号:8010703003035

ティー・ケイ・エス合同会社

技術と経験を活かしたエンジニアリング商社

海外の優れた最新技術を半導体・MEMS・電子デバイス・光学系のお客様にご提供させていただいたおります。また、最新技術ばかりではなく、数十年使用されている装置の延命化もご提供させていただいております。

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Sales Pitch

半導体・MEMS・電子デバイス・光学製品製造メーカー様に成膜装置(PVD, CVD, ALDなど)およびエッチング装置(ドライ、ウェット)を主にご提供させていただいております。
磁性体の成膜およびエッチング装置
IBE(イオンビームエッチング装置)IBD(イオンビーム成膜装置)、クラスター型スパッタリング装置の製造並びに各種ビンテージ真空プロセス装置への最新制御システム組み込みなど行っています。ヘリカルコイル型ECRイオンソースを用いたイオンビーム成膜装置は高レートの高密度酸化膜形成、強磁性体成膜を可能にしました。
装置リファビッシュ事業ではエンドユーザー様からの認定製造設備に最新の制御システムを組み込み、大きな設備投資と繁雑な認定作業を受ける必要なく、既設設備の長寿命化を図かっています。
高精度光学フィルター成膜用スパッタリング装置
成膜用のパーティクルを最小限にするためスパッタアップの方式を採用。
300mm径までのフラット並びに曲面の基板まで対応しており、基板加熱機構も組み込みできます。

【特長とメリット】
■傑出した光学多層膜の再現性
■優れた膜厚均一性
■シリンダー型スパッタカソードとスパッタアップとの組みわせによる膜質の改善と欠陥の無い成膜
■円筒型ターゲットによる長寿命ターゲットライフと
 成膜レート変動の最小化
■完全に自動化されたプロセス制御 
特許技術のマグネット形状を持ったマグネトロンスパッタリングカソード
スパッタリングカソードの米国専業メーカーで口径1インチから16インチまでの円形カソード、矩形カソード、シリンダー型カソードなどの開発製造を行っています。
特許技術であるマグネット形状によりエロージョンエリアが拡大するためマグネトロンスパッタカソードのターゲット利用効率が格段に改善され、スパッタプロセスのコスト削減に貢献します。

Other presentation

【事業内容・特長】
弊社は2016年3月に真空プロセスに関連する世界最先端技術を有する海外メーカー数社の代理店業務ならびにこれら装置に係わる保守業務を提供する目的で設立致しました。
弊社の取扱製品・装置はスパッタリング、高密度プラズマソースおよびパルス電源、イオンビームエッチング、中性クラスターイオンビームプロセス装置、有機材料昇華精製並びに成膜装置、液体用各種フィルター、洗浄用ブラシなど多岐にわたっています。
これら製品・装置は既に海外で高いご評価を頂いており、今後国内の産業に大いなる貢献をもたらすものと確信しております。
弊社は海外製品の輸入販売に留まらず、納入した設備を安定稼働させるため経験豊かなエンジニアを抱え、お客様の設備安定稼働を支えております。

【主要製品・技術・商品・サービスの概要・活用事例】
・半導体および電子デバイス製造装置(エッチング、PVD、CVD、ALD、洗浄)
・精密光学薄膜製造装置(PVD)
・有機材料昇華精製装置、有機材料蒸着源
・高密度プラズマソース、高密度パルス電源
・液晶、ソーラーパネル、ロボット、食品加工、医療機器など自動ベルト搬送機構
・LED照明器具
・各装置および周辺機器の修理技術サポート

【証明・許認可取得】
古物商許可証 東京都公安委員会 第302181704741号

【大手企業との取引実績・開発実績】
・半導体メーカーへの装置および部品納入(エッチング、PVD、CMP)
・電子デバイスメーカーへの装置納入(エッチング、PVD)
・工具メーカーへの高密度パルス電源納入
・半導体、電子デバイスメーカーへの技術サポート

【海外企業との取引実績・開発実績】
当社の主力製品は海外装置メーカーから輸入しておりますので海外取引に問題はありません。また、海外半導体メーカーにも装置を納入しておりますので海外技術サポートも十分な経験を持っております。

【代表者メッセージ(今後の販路開拓に向けた取り組み、ジェグテックの活用意向等)】
これまで当社の情報発信は主に人脈を通じてのものでしたが、今後は積極的にWeb情報ネットワークを活用して情報発信を行い販路開拓に取り組んでいきたいと考えております。特にジェグテックを活用することによって販路開拓だけではなく、取扱製品開拓にもつなげていきたいと考えております。

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中小機構 関東本部
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