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【企業の強み】
①マイクロ波放電メタルハライドランプは放射光の揺らぎが少なく、高効率長寿命のスポット状光源である。この特性は高分解能光学顕微鏡の光源に適している。内製化した固体マイクロ波発振器を組み込んだランプ点灯装置を製品化している。②ランプ長が短くても強いUV光を放射できるマイクロ波放電小型UVランプを開発した。空気・表面殺菌、水処理装置に適しており、殺菌脱臭装置を試作した。本装置は10W以上のUVｰC光を放射し、オゾンも発生する。光触媒との併用により高い殺菌脱臭効果を有する。③大気圧プラズマニードルは、10Wのマイクロ波により生成され、ニードル先端温度は100℃以下の低温プラズマである。反応性ガスを使用することにより、低消費電力のエッチング装置への応用が考えられる。④オートチューナおよび固体マイクロ波発振器を製品化している。