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Latest update: 08/01/2020 11:56:32
法人番号:1040001034298
株式会社シー・ヴィ・リサーチ
半導体に携わるお客様の様々なシーズ(種)を具現化いたします。
「CVR-9300 Series」、「CVR-9000 Series」などの高密度プラズマを用いた半導体製造装置の開発および製造、販売を行っております。その他、表面処理や成膜などのサービスも手掛けています。
Sales Pitch
- 半導体製造装置
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CVR-9300 Series
φ12″(300mm)ウェハーに対応したプラットフォーム 大口径ウェハーに対応したプロセスリアクター
CVR-9000 Series
φ5″ – φ8″ ウェハーに対応したプラットフォーム 高密度・均一なプラズマにより安定した処理が可能
CVR-3000 SR
φ6″ – φ12″ ウェハー ・ 152mm角マスクに対応したシングルプラットフォーム ロードロックを持たないシンプルな構造 設置面積が最小でコストパフォーマンスが高い
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CVR-3000 WD
φ12″ ウェハーに対応した、Dry & Wetのコンビネーションプラットホーム レジストアッシングからウェットRCA洗浄が可能です。 また、クロスコンタミネーションを意識した、裏面洗浄も可能にいたしました。
- サービス
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表面処理サービス
処理サイズ : φ6 – φ8 インチWafer への表面処理サービス ※φ8インチSiトレイの使用によりチップ処理対応可能 ※一部φ300mmm Wafer 対応 処理内容 : 酸化 ・ 窒化 ・Ashing
成膜サービス
処理サイズ : φ6 – φ8 インチWafer への成膜サービス ※φ8インチSiトレイの使用によりチップ処理対応可能 膜種 : TaO ・AlO ・SiO ・SiN 膜厚 : 1nm ~ 1000nm 程 (条件により異なります)
This company is recommended by the following support organizations.
- 中小機構 販路支援部
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中小機構のインキュベーション施設入居企業