Corporate
Profile

Failed to register as Favorite Page
Failed to cancel as Favorite Page
This page is already registered as a Favorite Page
You can't add your company to your favorites.

Latest update: 08/01/2020 11:56:32
法人番号:1040001034298

株式会社シー・ヴィ・リサーチ

半導体に携わるお客様の様々なシーズ(種)を具現化いたします。

「CVR-9300 Series」、「CVR-9000 Series」などの高密度プラズマを用いた半導体製造装置の開発および製造、販売を行っております。その他、表面処理や成膜などのサービスも手掛けています。

Inquiry
Main image

Sales Pitch

半導体製造装置
CVR-9300 Series
φ12″(300mm)ウェハーに対応したプラットフォーム
大口径ウェハーに対応したプロセスリアクター
CVR-9000 Series
φ5″ – φ8″ ウェハーに対応したプラットフォーム
高密度・均一なプラズマにより安定した処理が可能
CVR-3000 SR
φ6″ – φ12″ ウェハー ・ 152mm角マスクに対応したシングルプラットフォーム
ロードロックを持たないシンプルな構造
設置面積が最小でコストパフォーマンスが高い
CVR-3000 WD
φ12″ ウェハーに対応した、Dry & Wetのコンビネーションプラットホーム
レジストアッシングからウェットRCA洗浄が可能です。
また、クロスコンタミネーションを意識した、裏面洗浄も可能にいたしました。
サービス
表面処理サービス
処理サイズ : φ6 – φ8 インチWafer への表面処理サービス
			※φ8インチSiトレイの使用によりチップ処理対応可能
			※一部φ300mmm Wafer 対応
処理内容 : 酸化 ・ 窒化 ・Ashing
成膜サービス
処理サイズ : φ6 – φ8 インチWafer への成膜サービス
			※φ8インチSiトレイの使用によりチップ処理対応可能
膜種 : TaO ・AlO ・SiO ・SiN
膜厚 : 1nm ~ 1000nm 程 (条件により異なります)

This company is recommended by the following support organizations.

中小機構 販路支援部
中小機構のインキュベーション施設入居企業
Inquiry