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Latest update： 29/10/2019 14:20:55
法人番号：8012401002426
戸倉工業株式会社
『半導体から宇宙まで〜信頼される高純度ガス配管技術です』
当社高純度ガス配管設備事業部は、半導体製造装置から一般工業、自動車産業、航空宇宙産業まで、高純度ガス技術・真空技術を活かした部品、装置の設計製作をご提案致します。
Sales Pitch
- 高純度ガス配管製作技術
-
概要
当社独自の技術である、ステンレス配管自動溶接・溶接ビートコントロール他、蓄積したノウハウで、耐腐食性・脱ガス特性・耐圧・引張強度等の特性を有した高性能な配管溶接を実現します。
配管品目
・半導体装置向けプレファブガス配管 ・宇宙向けプレファブガス配管 ・真空チャンバー製作及び電解研磨処理 ・真空、排気配管製作
工程の特長
〔特殊配管施工：ハイパー処理〕 ガス純度をいつでも1ppb以下に下げる事が可能な技術（特許取得済み） 〔超クリーン技術〕 全ての工程は、組み立てエリア、溶接エリア、クリーンベンチと、作業内容に対応したクリーンルームにて加工・製造を行っています。
- 製造装置設計製作
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概要
当社技術を活かし、オンリーワンのOEMをご提案します。 設計、組立からソフトウェア製作、現地搬入、立上まで、一貫して対応いたします。
装置／ユニット
・ＭＯ-ＣＶＤ装置 ・Ｈｅ検査装置 ・イオンプレーティング装置 ・ＣＶＤ装置 ・スパッタ装置 ・超臨界装置 ・アッシング装置 ・酸化装置 ・アニール装置 ・ガス供給ユニット ・排気ユニット ・トランスファーユニット ・真空ポンプユニット ・シリンダーキャビネット ・ボンベスタンド
Other presentation
● 国際標準 ISO9001認証取得 ● 宇宙向溶接配管規格 （NASA） MSFC-SPEC-560A認証取得 【活用している支援機関】 TAMA協会
