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パターニング

評価用TEG基盤作成

フォトリソとエッチング技術でACF・有機EL・各種TEG・MEMS・太陽電池等へ小ロット1枚の試作から量産までのパターン加工の対応。ガラス等の機材の加工もお受けいたします。
他社で断られた案件も是非お問い合わせ下さい。

各種単層膜微細パターニング
①加工薄膜（成膜は外注）
ITO・αITO・Cr・AL・Ni・Au・Cu・Mo・IZO・Ti・FTO等
②加工サイズ
・MAX：Work 470ｍｍ×370ｍｍ
・MIN：20mm×20mm
③加工実績
・L/S（ﾗｲﾝ/ｽﾍﾟｰｽ）=3μm/3μm⇒6μmピッチ可能（ITO・Cr）
④基板
・ソーダ、無アルカリ、石英、ウェハ、セラミック、フィルム等

多層膜・積層加工パターニング
①加工薄膜
ITO＋Cr、Cr＋ITO、Cr＋AL、Cr＋Au、Ti＋Cu、AL＋Ti、Ti＋Al+Ti
Mo＋AL＋Mo、AL＋Mo＋IZO、AL＋Mo＋ITO（低温）等
また両面ITOや片面ITO＋片面Cr等の両面成膜基板の加工や
絶縁膜をプラスした積層も可能。
②加工サイズ
　・MAX：400mm×300mm
　・MIN：100mm×100mm
　　　*膜構成による
③アライメント精度
　・±3μm以内
④加工構成
　・積層パターンのみでなく、絶縁膜を介しての積層パターンも可。

材料評価のお手伝い

自社のレジストを塗布だけしてほしいな。
    露光、現像だけお願いできる所はないかな？
    膜付の基板を剥離して欲しい！
    クリーンルーム下での作業がしたい。
    小さなガラスを出来るだけ安く手に入れたい！

＊テクノプリントはこんなご要望にもお答えします。
・通常の洗浄･レジスト塗布～梱包までのフルコースはもとより、 洗浄･レジスト塗布のみ､露光･現像のみ､エッチング～カット面取りまで等部分的な加工も承っております。

＊レジスト塗布～露光･現像まではクリーンルーム下で行います。
 ・PETやPEN等の基材開発の評価にレジスト・ポリイミド塗布等の条件だしのお手伝いをします。
 ・またご要望に応じ条件だし評価レポートも作成致します。
    小ロットの評価のお手伝いの他､量産対応もご相談下さい。

空セル（薄ガラス貼り合わせ加工技術）

ガラス/ガラスタッチパネルで培った薄ガラス貼り合わせ技術で空セル等作製のお手伝いをします。

①加工内容
ガラス + ガラス貼り合わせ（段差カット可能）。ガラス + フィルム貼り合わせ（仕様要相談）
②加工サイズ
MAX 400mm x 360mmまでのガラス基板へ加工可能。薄さ上下0.2mm～対応可能。G+F:(仕様要相談)
③加工実績
ガラス + ガラス間ギャップ10～30μm（シール剤で貼り合わせ）

Other presentation

【企業の強み】
「躍動的」「専門的」「独創的」「個性的」の4つの行動指針のもと、お客様に満足していただける製品を作り続けてまいります。
【アピールポイント】
大手企業が不得意な部分的な装置を稼動させお客様に最適な加工プランを提示。

【備考】
新価値創造NAVI掲載企業
http://shinkachi.smrj.go.jp/navi/

This company is recommended by the following support organizations.

中小機構　関東本部

中小機構　販路支援部

新価値創造展2016出展企業