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Latest update: 28/01/2020 11:51:29
法人番号:1010101000640

株式会社エリオニクス

粒子線、電磁波を活用した装置・システムで世界展開

電子やイオンといった粒子線、光やX線などの電磁波に関する技術を活用した製品を大学・研究機関などに供給。ナノレベルの微細加工技術に自信。

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【製品説明】 エリオ二クス開発陣の永年に渡る経験、情熱、独創が見事に結晶。 ・最高125kVの加速電圧により、最小径Φ1.7nmのビームが、長時間安定して得られます。これにより、最小線幅4nmの超微細パターンを実現しました。 ・市販レジストを使用しての線幅5nmの極細線パターン描画を保証いたします。 ・超高加速電圧125kVにより、極小線幅かつ高アスペクト比パターンが容易に得られます。

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