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【製品説明】 【特長】 　・独創的な磁石構成による大容積ECR磁場。 　・強力な冷却システムによるkW級大電力動作。 　・メタルコンタミフリーの誘電体ライニング。 　・複数配置により大面積プラズマを実現するモジュールコンセプト。 【装置仕様】 　・接続真空ポート口径　　：Φ120 ㎜ 　・接続導波管規格　　　　 ：WR340 　・適合マイクロ波周波数　：2.45 GHz 　・許容マイクロ波電力　　 ：最大2,000 W 　・冷却方式　　　　　　　　　：水冷 【応用例】 　・ドライエッチング装置やアッシング装置のソースパワーとして。 　・反応性イオンビーム加工装置（RIBE）のイオン源として。 　・イオン窒化・酸化装置やDLC成膜装置のプラズマソースとして。 【知的財産】 出願番号：特願2014-28950

【製品説明】 【特長】 　・独創的な磁石構成による大容積ECR磁場。 　・取り扱いが容易な同軸ケーブル給電。 　・メタルコンタミフリーの誘電体ライニング。 　・複数配置により大面積プラズマを実現する、モジュールコンセプト。 【装置仕様】 　・接続真空ポート口径 ：Φ80 ㎜ 　・同軸コネクタ規格 ：N型 　・適合マイクロ波周波数 ：2.45 GHz 　・許容マイクロ波電力 ：最大200 W 　・冷却方式 ：水冷 【応用例】 　・EPS-120と同様、各種プラズマ源として。

【製品説明】 【特長】 　・完全メタルシールにより超高真空装置に対応。 　・取り扱いが容易な同軸ケーブル給電。 　・メタルコンタミフリーの誘電体ライニング。 　・ラジカルビームの発生に優れた、バイアス電極付きの誘電体引出グリッド。 【装置仕様】 　・接続真空ポート規格　　：　ICF70 　・同軸コネクタ規格　　　　：　N型 　・適合マイクロ波周波数　：　2.45 GHz 　・許容マイクロ波電力　　　：　最大 150 W 　・冷却方式　　　　　　　　　 ：　水冷 【応用例】 　・MBE装置の窒素／酸素ラジカル源として。 　・表面クリーニングのための原子状水素源として。

【製品説明】 【特長】 ・荷電粒子シミュレーションにより、ビーム均一性を最適化。 ・耐熱・低スパッタ率電極材料の採用により、低エネルギーかつアンペア級のイオンビームを発生。 【装置仕様】 ・放電方式　　　：　多極磁場型・熱陰極DC放電（ECRプラズマ源の適用も可能） ・ビームサイズ　：　Φ350 ㎜ ・ビーム仕様　　：　1keV × 2A 【応用例】 ・MEMS加工装置用イオン源として。