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最終更新日時: 2021/12/02 17:34:42
法人番号:2190001015670

株式会社東邦鋼機製作所

革新エコ技術で社会に貢献

SiC・GaN基板加工、その他基板加工を行っています。主要取引先は、半導体製造メーカー及び関連部材メーカーです。大学との産学連携を行っており、SiC・GaN基板の研磨を行うCARE法の共同研究を進めています。

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アピールポイント

事業内容
SiC・GaN基板研磨事業
SiC・GaN基板の研磨をCARE法で行います。CARE法は、国立大学法人大阪大学 山内和人教授、佐野泰久准教授により発明された研磨方法です。
CARE法は、基板に傷が生じず、原子レベルの平坦化が可能です。また、潜傷も生じませんので、高品質な基板を提供できます。当社で研磨した基板は、原子間力顕微鏡(AFM)等により品質検査を行います。
CMP(Chemical Mechanical Polishing)パッド事業
CMP研磨加工サービス、研磨パッドの表面、溝、孔加工を致します。特殊形状の加工もご相談下さい。また、CMP研磨パッド加工装置の製造を承ります。
研磨パッド再生事業(再盛エコキャップ🄬)
お客様ご使用の研磨パッドを再盛エコキャップ®に貼り付け、ご使用後、その研磨パッドを再生加工致します。25%以上のコスト削減に結び付きます。
再盛エコキャップ®とは、研磨パッドを簡単に回転定盤に貼り付けることができる補助板のことです。お客様ご使用の研磨パッドを、弊社機器により再盛エコキャップ®の中央に貼り付けます。再盛エコキャップ®は、各種研磨パッドのサイズ、研磨機により、サイズ変更等が可能です。

その他のアピール

2021年 戦略的基盤技術高度化支援事業に採択される。
「低コスト・高性能デバイスを実現する窒化アルミニウムテンプレートの開発」

戦略的基盤技術高度化支援事業に採択される。
研究テーマは、「低コスト・高性能デバイスを実現する窒化アルミニウムテンプレートの開発」

2021年 東邦鋼機製作所と東邦エンジニアリングを合併。

この企業は以下の支援機関から推薦されています

国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)
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