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アピールポイント

事業内容・技術・製品

事業内容

弊社は、東北大学 金属材料研究所発のベンチャー企業です。宮城県仙台市を拠点に、太陽電池用および半導体用ウェハー検査装置の製造・販売を行っております。
昨今の太陽電池および半導体製品の普及拡大に伴い、世界では更なる品質向上と価格低下が求められています。弊社は、太陽電池製造業界および半導体製造業界がその要求に応えるためには新たな品質基準が必要であると確信し、東北大学金属材料研究所で開発された新たな結晶品質測定技術である「HS-CMR法」を使用した結晶品質測定装置を開発しました。

技術

弊社が開発した新測定技術「HS-CMR法(Hi Speed-Current Modulating Resistivity) 」を搭載した測定装置は、ウェハーの段階で結晶の表面だけでなく内部まで含めた品質を測定することができます。HS-CMR法は、四探針法を応用して電流を可変させながら抵抗率を測定することにより、ウェハーの「実効抵抗率」を測定することができます。
実効抵抗率は結晶欠陥や不純物などにトラップされない少数キャリア、多数キャリアの総数が反映された数値となります。HS-CMR法は、抵抗率の推移や実効抵抗率などを独自アルゴリズムによって解析することにより、結晶の品質を正確に反映した単一の品質係数「ポテンシャル変換効率」を得ることができます。

HS-CMR法によって得られた測定値は、結晶成長やデバイスプロセスの改善・開発に役立てることができます。

製品：太陽電池用シリコンウェハー有効キャリア測定装置

本測定装置は、シリコンウェハー内のすべての少数キャリア及び多数キャリアのうち、有効なキャリアの総数を計測し、
HS-CMR法(Hi Speed-Current Modulating Resistivity) によりポテンシャル変換効率を算出することでウェハーの結晶品質を評価する測定機です。

判断が難しかった太陽電池用ウェハーの品質を明確に測定し、インゴットメーカー、ウェハーメーカー及びセルメーカーの持つ課題を素早く解決します。

【What we do】
・受入品の品質・有機洗浄の状態確認
・無機洗浄の状況や洗浄液の劣化確認
・テクスチャの効果確認とエッチャントの劣化確認

【Result】
・変換効率の改善
・開発効率の改善
・不良率の改善

＊セルにすることなく評価が可能！
＊セル化コストと時間を大幅にカット！

カタログ・パンフレット・提案資料

その他のアピール

【企業の強み】

【活用している支援機関】
中小機構東北

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