法人情報

【事業内容】
電子・イオン等の粒子線および光・X線等の電磁波に関する技術を応用した各種機器・システムの研究・開発・設計・製造・販売・技術提供・輸出入・ 保守サービスを行っております。当社は、「科学技術の進歩に貢献できる製品を作りたい」との思いから、大手電子顕微鏡メーカーから独立した電子工業系の技術者が集まって創業した会社です。八王子市という理工系大学や研究機関、半導体をはじめとした大手メーカーの開発部門などが集積する首都圏西部地域のポテンシャルを十分生かして、産学官共同研究活動を進めた成果が結実しました。

【業種】
ナノ加工装置、計測機器の開発・製造・販売

【製品・技術の強み】
超高精度電子ビーム描画装置ELS-F125：①世界初、最高125kVの加速電圧により、最小径 φ1.7nm のビームが、長時間安定して得られます。これにより、市販レジストでも5nmの超微細パターン描画を保証します。（4nmも可能です）②超高加速電圧125kVにより、超微細パターンの高アスペクト描画が可能です。③電子ビームを制御するための電子光学系を見直したことで、ひずみを抑え、一度に描画できる領域を大幅に拡大しました。これにより、加工時間も大幅に短縮することに成功。④電子光学系の見直しにより、つなぎ、重ね合わせの精度も大幅に向上。広範囲に渡り、均一かつ高精度な描画を行うことができます。

【シェア・ランク】
超高精度電子ビーム描画装置　国内シェア80%

【表彰・メディア掲載】
【表彰実績】
2014.03　経済産業省「グローバルニッチトップ企業100選」に選定
2006.04　経済産業省・中小企業庁「明日の日本を支える元気なモノ作り中小企業　300社」に選定
2005　nano tech2005 国際ナノテクノロジー総合展・技術会議　ナノテック大賞受賞
2004 (財)りそな中小企業振興事業団・日刊工業新聞　第16回中小企業優秀新技術・新製品賞 優秀賞受賞・技術経営特別賞受賞
2002　(財)精密測定技術振興財団 高城賞 受賞『物質表面/表層のセンシングに関する研究』
2000　(財)機械振興協会 第30回中堅、中小企業新機械開発賞 受賞
他多数

【メディア記載】
2015/8他　日刊工業新聞、2014/3　BS-TBS報道経済番組「グローバルナビフロント」、2013/4他　日経新聞　など

【共同研究・開発実績】
・長岡技術科学大学との超微小押し込み硬さ試験機の共同開発。
・（独）産業技術総合研究所（地域中小企業支援型研究開発事業）との超微小押し込み硬さ試験機の高度化に伴うソフトウェアの開発。
・北海道大学とのイオンビームによるナノ構造製作技術の開発。
・東京理科大学とのナノインプリントへの三次元モールド加工共同作製。

【主要取引先:実績（国内）】
（独）宇宙航空研究開発機構・（独）科学技術振興機構などの公的機関、東京大学・京都大学などの教育機関、民間企業約240社に納入実績がございます。

【主要取引先:実績（海外）】
アメリカ・ヨーロッパ・シンガポール・韓国・台湾・中国の研究機関、大学等への納入実績がございます。