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真空装置・測定装置メーカー、独自の表面分析装置も開発

材料･構造の開発速度を増大させる、コンビナトリアル手法を用いた新機能性材料開発用装置（コンビナトリアルPLD装置･スパッタ装置）の開発で多くの実績を持つ。その装置で作成されたサンプル評価する分析装置を製造販売している。また、近年開発した表面分析装置は、絶縁体のダメージレス分析も可能なことで業界内で注目されている。これは、電荷を有しない希ガス元素でプロービングするため、測定対象に全くダメージを与えることなく原子の配列状態などを観察できる独自技術。