法人情報

【事業内容・特長】
当社は長年にわたる半導体業界での経験を活かし、独自の真空蒸着技術でY2O3の成膜をエッチング装置のRFウィンドウに行い、耐食性保護膜としてエッチング装置のダウンタイム削減や微細化に伴う発生パーティクルの低減要求に応えてお客様の生産性向上に貢献してきました。エッチング装置のRFウィンドウの耐プラズマ保護膜だけでなく、ポスト５Gの高周波プリント基板への成膜、ジェットエンジン部品に使用されているイットリウム安定化ジルコニアへの応用、精密金型の超硬質・高密着な厚膜による離型性向上、光学レンズへの応用、義歯へのコーティングなど様々な用途に検討がなされています。Y2O3を真空蒸着でアルミナ基板上では25μm、石英ガラス上に10μmの緻密性の高い高硬度で基板との密着性が高く、耐熱性、高屈折率の厚膜が成膜できています。高融点金属酸化膜の良い成膜をお探しの方は是非、ご相談ください。

【主要製品・技術・商品・サービスの概要・活用事例】
エッチング装置のRFウィンドウの耐プラズマ保護膜は韓国の大手半導体メーカーがすでに採用しています。エッチング装置のRFウィンドウの耐プラズマ保護膜だけでなく、ポスト５Gの高周波プリント基板への成膜、ジェットエンジン部品に使用されているイットリウム安定化ジルコニアへの応用、精密金型の超硬質・高密着な厚膜による離型性向上、光学レンズへの応用、義歯へのコーティングなど様々な用途に検討がなされています。

【代表者メッセージ（今後の販路開拓に向けた取り組み、ジェグテックの活用意向等）】
現在、当社は開発したY2O3の独自真空蒸着技術による成膜を国内・海外に向けて事業展開を計画しています。半導体のみならず、他業界への用途展開も考えており、市場開拓営業や成膜の製造委託先も探していますのでジェグテックのビジネスマッチングを活用していきたいと考えています。