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最終更新日時： 2019/10/29 14:20:55
法人番号：8012401002426

戸倉工業株式会社

『半導体から宇宙まで〜信頼される高純度ガス配管技術です』

当社高純度ガス配管設備事業部は、半導体製造装置から一般工業、自動車産業、航空宇宙産業まで、高純度ガス技術・真空技術を活かした部品、装置の設計製作をご提案致します。

高純度ガス配管製作技術

概要

当社独自の技術である、ステンレス配管自動溶接・溶接ビートコントロール他、蓄積したノウハウで、耐腐食性・脱ガス特性・耐圧・引張強度等の特性を有した高性能な配管溶接を実現します。

配管品目

・半導体装置向けプレファブガス配管
・宇宙向けプレファブガス配管
・真空チャンバー製作及び電解研磨処理
・真空、排気配管製作

工程の特長

〔特殊配管施工：ハイパー処理〕
ガス純度をいつでも1ppb以下に下げる事が可能な技術（特許取得済み）
〔超クリーン技術〕
全ての工程は、組み立てエリア、溶接エリア、クリーンベンチと、作業内容に対応したクリーンルームにて加工・製造を行っています。

製造装置設計製作

概要

当社技術を活かし、オンリーワンのOEMをご提案します。
設計、組立からソフトウェア製作、現地搬入、立上まで、一貫して対応いたします。

装置／ユニット

・ＭＯ-ＣＶＤ装置　
・Ｈｅ検査装置
・イオンプレーティング装置
・ＣＶＤ装置　
・スパッタ装置
・超臨界装置　
・アッシング装置
・酸化装置　
・アニール装置
・ガス供給ユニット　
・排気ユニット
・トランスファーユニット
・真空ポンプユニット
・シリンダーキャビネット　
・ボンベスタンド

● 国際標準 ISO9001認証取得
● 宇宙向溶接配管規格 （NASA） MSFC-SPEC-560A認証取得

【活用している支援機関】
TAMA協会