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水晶の高周波化を実現したドライエッチング加工技術

水晶振動子、水晶フィルター、水晶発振器といった水晶デバイスを製造。高周波回路の雑音を抑えるため、基本波発振による高周波水晶製品に最適なドライエッチング加工技術（プラズマエッチング）を開発。最近では、技術を生かしシリコン・ウエハの研磨・加工にも取り組んでいる。